單項(xiàng)選擇題SIO2干法刻蝕,刻蝕后CD的影響因素有()。
A.刻蝕時(shí)間
B.聚合物的多少
C.光刻膠CD
D.以上都對(duì)
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1.單項(xiàng)選擇題鋁后處理HNO3、CH3COOH、HF混合液的主要作用是()。
A.去除聚合物
B.去除金屬離子
C.去除顆粒沾污
D.去除硅渣
2.單項(xiàng)選擇題如果SiO2濕法腐蝕想獲得更緩的臺(tái)階角度,以下方法可行的是()。
A.升高烘烤溫度
B.降低烘烤溫度
C.改干+濕工藝
D.使用粘附性好的光刻膠
3.單項(xiàng)選擇題BOE腐蝕液是指氫氟酸和以下哪個(gè)酸液的混合液?()
A.硫酸
B.氨水
C.氟化銨
D.雙氧水
4.單項(xiàng)選擇題濕法去膠用到的化學(xué)品是硫酸和()。
A.氫氟酸
B.雙氧水
C.鹽酸
D.磷酸
5.單項(xiàng)選擇題刻蝕具有各向同性,各向異性的特點(diǎn),以下說法正確的是()。
A.橫向、縱向刻蝕速率一致時(shí),是各向同性刻蝕
B.刻蝕在一個(gè)方向上發(fā)生,是各向同性刻蝕
C.濕法腐蝕絕大部分都是各向異性刻蝕
D.干法刻蝕絕大部分都是各向同性刻蝕
6.單項(xiàng)選擇題浮動(dòng)鉸孔、無心磨削外圓等加工時(shí)定位基準(zhǔn)選擇遵循()。
A.基準(zhǔn)重合原則
B.基準(zhǔn)統(tǒng)一原則
C.互為基準(zhǔn)原則
D.自為基準(zhǔn)原則
7.單項(xiàng)選擇題使用鏜模時(shí),鏜刀桿與主軸常采用()。
A.套筒連接
B.錐面連接
C.萬向接頭連接
D.螺紋連接
8.填空題鉆削是用()或()在工件上加工()的方法。鉆削時(shí)的主運(yùn)動(dòng)是()的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),進(jìn)給運(yùn)動(dòng)是()。
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裝配尺寸鏈具有()的特性。
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距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度,如()
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