填空題

超精密加工機床的關鍵部件有：（）、（）和（）等。

答案：精密主軸部件；導軌部件；進給驅動系統(tǒng)

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超精密加工機床的總體布局形式主要有以下幾種：（）、（）、（）、（）等。

答案： T型布局；十字形布局；R—θ布局；立式布局

若工件為鐵，工具為銅，在氯化鈉電解液中進行電解加工時陽極溶液生成（）陰極生成（），電解液最終生成Fe（OH）₃。

答案：

Fe（OH）₂；H₂