判斷題

離子注入工藝中入射離子能量低于臨界能量時(shí)核阻止本領(lǐng)占主導(dǎo)，高于臨界能量時(shí)電子阻止本領(lǐng)占主導(dǎo)。

答案：正確

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有限表面源擴(kuò)散與離子注入的雜質(zhì)分布都滿足高斯函數(shù)，兩種摻雜工藝雜質(zhì)最高濃度位置都在硅片表面。

答案：錯(cuò)誤

離子注入工藝中被摻雜的材料稱為靶，靶材料可以是晶體，也可以是非晶體，非晶靶也稱為無定形靶。

答案：正確