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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述常壓?jiǎn)尉庋雍投嗑П∧こ练e裝置。
答案:
三種裝置不僅可以用于硅外延生長(zhǎng),也較廣泛的用于GaAs,AsPAs,GeSi合金和SiC等其它外延層生長(zhǎng);還可用于氧化硅...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)裝置
答案:
(1)氣相反應(yīng)室;
(2)加熱系統(tǒng);
(3)氣體控制系統(tǒng);
(4)排氣系統(tǒng)
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述動(dòng)量的傳遞方式
答案:
兩種常見的流體流動(dòng)方式:流速與流向均平順者稱為“層流”;流動(dòng)過程中產(chǎn)生擾動(dòng)等不均勻現(xiàn)象的流動(dòng)形式,則稱為“湍流”。
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