關(guān)于溶膠凝膠法，下面哪些說法是正確的？（）

完全光滑界面的生長是通過（）而進(jìn)行的。

氣相生長的基本原理：氣相原子或分子運(yùn)動(dòng)到晶體表面，在一定的條件下被晶體吸收，形成穩(wěn)定的（）。俘獲吸附原子，臺(tái)階運(yùn)動(dòng)蔓延整個(gè)表面，便生長一層晶體薄膜。

臨界驅(qū)動(dòng)力指維持確定半徑的晶核所需要的（）驅(qū)動(dòng)力。

影響CVD質(zhì)量的因素有（）

凝聚開始的條件主要取決于（）

固相燒結(jié)的驅(qū)動(dòng)力主要來源于坯料的（）

不同金屬由于結(jié)構(gòu)不同，其能量表面能最低晶面也不相同，Pd，Pt為面心立方結(jié)構(gòu)，其最小奇異面是（）

使參與反應(yīng)的氣態(tài)源交替地以脈沖方式分別射向襯底進(jìn)行外延生長的方法是（）

蒸鍍制膜主要包括的物理階段有（）