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名詞解釋
化學(xué)合成反應(yīng)沉積
答案：
由兩種或兩種以上的反應(yīng)原料氣在沉積反應(yīng)器中相互作用合成得到所需要的無機薄膜或其它材料形式的方法。
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名詞解釋
氧化還原反應(yīng)沉積
答案：
一些元素的氫化物有機烷基化合物常常是氣態(tài)的或者是易于揮發(fā)的液體或固體，便于使用在CVD技術(shù)中。如果同時通入氧氣，在反應(yīng)器...
名詞解釋
物理氣相沉積
答案：
以物理機制來進(jìn)行薄膜沉積而不涉及化學(xué)反應(yīng)的沉積技術(shù)，所謂物理機制是物質(zhì)的相變化現(xiàn)象，如蒸鍍，蒸鍍源有固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)濺鍍，...
