A.高效機械泵 B.擴散泵 C.吸附泵 D.機械泵與擴散泵聯(lián)用
A.加大系統(tǒng)的真空度 B.降低系統(tǒng)的真空度 C.降低真空系統(tǒng)真空度的波動范圍
A.加大系統(tǒng)的真空度 B.降低系統(tǒng)的真空度 C.降低真空系統(tǒng)真空度的波動范圍 D.為了方便