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對(duì)于IC生產(chǎn)車間,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,如果吸附的灰塵粒子的半徑大于100μm線條寬度約100μm時(shí),薄膜厚度在50μm下時(shí),則最易使產(chǎn)品報(bào)廢。
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進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員可以穿防靜電大褂衣,也可以穿合成纖維工作服。
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人們一般認(rèn)為只有CMOS類的芯片才對(duì)靜電敏感,實(shí)際上,集成度高的元器件電路都很敏感。
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