問答題

【簡答題】什么是MOCVD？它有哪些特點？

答案：是一個將特定的源材料通過一系列嚴格控制，傳輸?shù)郊訜嵘L區(qū)，在此生長區(qū)，源材料熱分解后的元素化合形成具有一定光、電性能的晶...

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【簡答題】簡述氣相外延生長（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。

答案：是讓生長原材料以氣體或電漿粒子的形式傳輸至芯片表面，這些粒子在失去部份的動能后被芯片表面晶格吸附（Adsorb），通常...