問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】描述CVD生長(zhǎng)的簡(jiǎn)化過(guò)程。寫出影響CVD生長(zhǎng)速率的因素。

答案：
影響CVD生長(zhǎng)速率的因素：①質(zhì)量傳輸限制（常壓CVD）；②表面反應(yīng)限制（低壓CVD）；③CVD氣流動(dòng)力學(xué)；④...

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