填空題

大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有（），（），（），（），（）。

答案：外延生長(zhǎng)；氧化；光刻；選擇擴(kuò)散；真空鍍膜

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虛擬制造技術(shù)是以（）、（）、（）為支持，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)或制造系統(tǒng)的物理實(shí)現(xiàn)之前，就能使人體會(huì)或感受到未來(lái)產(chǎn)品的性能或者制造系統(tǒng)的狀態(tài)，從而可以作出前瞻性的決策與優(yōu)化實(shí)施方案。

答案：信息技術(shù)；仿真技術(shù)；虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)

快速原型制造常用的工藝方法（），（），（），（）。

答案：光固化成形；疊層實(shí)體制造；選擇性激光燒結(jié)；熔融沉積制造