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填空題工業(yè)機(jī)器人一般由機(jī)械系統(tǒng)，（），（）和（）等幾個部分組成。

1.填空題微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

2.填空題優(yōu)化設(shè)計的三要素是：（），（），（）。

3.填空題快速原型制造技術(shù)的熔絲沉積成形法通常采用的原材料是（）。

4.填空題優(yōu)化設(shè)計的兩個前提條件（），以計算機(jī)為基礎(chǔ)。

5.填空題大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有（），（），（），（），（）。