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填空題

工業(yè)機器人一般由機械系統(tǒng)，（），（）和（）等幾個部分組成。

答案：控制系統(tǒng)；驅(qū)動系統(tǒng)；智能系統(tǒng)

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微細加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術，面刻蝕加工技術，LIGA技術，（）和（）。

答案：三束加工技術；犧牲層技術；外延生長技術

優(yōu)化設計的三要素是：（），（），（）。

答案：目標函數(shù)；設計變量；約束條件