填空題

實(shí)現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對(duì)刀具性能的要求是（）、（）、刀刃無(wú)缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。

答案：超微量去除技術(shù)；極高的硬度和耐磨性；刃口極其鋒利

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超聲波加工主要是利用（）作用來(lái)去除材料的，同時(shí)產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除效果，故適于加工（）材料。

答案：

磨料在超聲振動(dòng)作用下的機(jī)械撞擊和拋磨；硬脆

目前金剛石刀具主要用于（）材料的精密與超精密車(chē)削加工，而對(duì)于（）材料的精密與超精密加工，則主要應(yīng)用精密和超精密磨料加工。

答案：鋁、銅及其合金等軟金屬；黑色金屬、硬脆；