A、氦檢儀是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常 B、真空泵的性能 C、真空泵電機(jī)正反轉(zhuǎn) D、氦檢儀的氦氣顯示量
A、保證系統(tǒng)在常溫狀態(tài) B、保證系統(tǒng)在高溫狀態(tài) C、保證系統(tǒng)內(nèi)盡量干燥 D、保證系統(tǒng)內(nèi)沒(méi)有物料