A、使同圈的膜層厚度分布均勻 B、使內(nèi)外排膜層厚度分布均勻 C、使同圈溫度分布均勻 D、使內(nèi)外排溫度分布均勻
A、補(bǔ)充材料失去的氧原子,使材料氧化更充分,降低膜層吸收 B、使每次鍍膜時(shí),真空室內(nèi)的真空狀態(tài)相接近 C、使蒸發(fā)更穩(wěn)定 D、使控制更精確
A、蒸發(fā)速率 B、蒸發(fā)溫度 C、真空度 D、膜層厚度