多項選擇題

正?？缮敌拚宓腻兡C，若EB2正在鍍膜，EB1，EB2上方的修正板，處于何種狀態(tài)？（）

A、EB1上方的修正板升起
B、EB2上方的修正板升起
C、EB1上方的修正板下降
D、EB2上方的修正板下降

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多項選擇題

目前控制膜厚種類有（）。

A、光學(xué)膜厚儀控制
B、電子槍控制
C、晶振膜厚儀控制
D、電腦控制

單項選擇題

關(guān)門抽真空，一般當(dāng)真空度抽到（）時開始自動預(yù)熔膜料。

A、1.5E-3Pa
B、5.0E-3Pa
C、2.0E-3Pa
D、5.0E-5Pa