A、調(diào)整內(nèi)外排溫度分布 B、調(diào)整機器內(nèi)的真空度分布 C、調(diào)整內(nèi)外排膜厚分布 D、調(diào)整同圈厚度分布
A、400~420nm B、500~530nm C、580~620nm D、630~760nm
A、電子槍 B、擴散泵 C、坩堝盤 D、晶振頭