填空題

普通加熱工藝鍍制的薄膜微觀結構是柱狀結構，為了改善膜層結構，提高聚集密度，分別出現了三種成膜工藝（）、（）、（）。

答案： 離子輔助鍍；反應離子鍍；濺射鍍
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