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填空題

該層晶振厚度是800A，現(xiàn)已鍍了150A，由于某種原因充氣而需要加鍍，那么加鍍晶振厚度是（）。

答案： 650A

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普通加熱工藝鍍制的薄膜微觀結(jié)構(gòu)是柱狀結(jié)構(gòu)，為了改善膜層結(jié)構(gòu)，提高聚集密度，分別出現(xiàn)了三種成膜工藝（）、（）、（）。

答案：離子輔助鍍；反應(yīng)離子鍍；濺射鍍

保持鍍膜機(jī)開門時(shí)間盡可能的短，是為了防止真空室內(nèi)部的護(hù)板吸附空氣中的（），使鍍膜機(jī)的抽速變（），影響產(chǎn)品的品質(zhì)。

答案：水汽；慢