主要目的是快速冷卻,由于氬氣是不活潑性氣體,很難與離子源部件發(fā)生氧化。
在鍍膜之前要把材料預(yù)熔透徹,主要是為了材料進(jìn)行放氣,消除材料中其它成份,保持鍍膜不產(chǎn)生飛濺和保持真空度穩(wěn)定。