問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】離子源使用結(jié)束后,機(jī)器會(huì)自動(dòng)充入氬氣對(duì)其冷卻,冷卻的目的是什么?

答案:

主要目的是快速冷卻,由于氬氣是不活潑性氣體,很難與離子源部件發(fā)生氧化。

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問(wèn)答題

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答案: 1流程卡與鍍膜片相符
2可否同罩
3是否是被鍍膜面
4膜料與程序里的坩堝號(hào)是否對(duì)應(yīng)5檔板的...
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答案:

在鍍膜之前要把材料預(yù)熔透徹,主要是為了材料進(jìn)行放氣,消除材料中其它成份,保持鍍膜不產(chǎn)生飛濺和保持真空度穩(wěn)定。

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