問答題

【簡答題】寫出更換防污板和上下片過程中的注意事項。

答案: 更換防污板時要注意:當前罩數鍍制到后幾層時,由操作人員或副操作電話到輔助房要求準備防污板,把準備好的防污板用酒精擦拭干凈...
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【簡答題】寫出鍍膜過程應注意哪些參數變化?

答案: 鍍膜過程中應注意真空度是否穩(wěn)定、光量走值是否平滑無波動、蒸發(fā)速率穩(wěn)定在設定范圍內、電子槍能量是否穩(wěn)定、離子源的各參數變化...
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【簡答題】如果晶振速率突然不穩(wěn)你該怎么處理?

答案: 如果是晶振控制的可以按照不穩(wěn)時間和電流估計出實際所蒸鍍的厚度,之后換一片晶振加鍍;如果是光控控制的可以以光控為準換一片晶...
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