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問答題
【簡答題】寫出更換防污板和上下片過程中的注意事項(xiàng)。
答案：
更換防污板時(shí)要注意：當(dāng)前罩?jǐn)?shù)鍍制到后幾層時(shí)，由操作人員或副操作電話到輔助房要求準(zhǔn)備防污板，把準(zhǔn)備好的防污板用酒精擦拭干凈...
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問答題
【簡答題】寫出鍍膜過程應(yīng)注意哪些參數(shù)變化？
答案：
鍍膜過程中應(yīng)注意真空度是否穩(wěn)定、光量走值是否平滑無波動、蒸發(fā)速率穩(wěn)定在設(shè)定范圍內(nèi)、電子槍能量是否穩(wěn)定、離子源的各參數(shù)變化...
問答題
【簡答題】如果晶振速率突然不穩(wěn)你該怎么處理？
答案：
如果是晶振控制的可以按照不穩(wěn)時(shí)間和電流估計(jì)出實(shí)際所蒸鍍的厚度，之后換一片晶振加鍍；如果是光控控制的可以以光控為準(zhǔn)換一片晶...
