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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋投射電子能顯微鏡。
答案：
TEM把加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的電子碰撞而電子與樣品中的原子的碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】硅片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要工具是什么？
答案：
硅片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要工具是掃描電子顯微鏡（SEM），它能放大10萬(wàn)到30萬(wàn)倍，這明顯高于光學(xué)顯微鏡，用掃描電子顯微鏡觀...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】給出半導(dǎo)體質(zhì)量測(cè)量的定義。例出在集成電路制造中12種不同的質(zhì)量測(cè)量。
答案：
半導(dǎo)體質(zhì)量測(cè)量定義了硅片制造的規(guī)范要求，以確保滿足器件的性能和可靠性。集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測(cè)量：
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