問答題

答案：工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)
工藝腔是對(duì)硅片加熱的場所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...

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