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什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？

例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。

解釋什么是暗場掩模板？

刻蝕工藝有哪兩種類型？簡單描述各類刻蝕工藝。

解釋發(fā)生刻蝕反應的化學機理和物理機理。

什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

描述化學機械平坦化工藝。

哪種化學氣體經(jīng)常用來刻蝕多晶硅？描述刻蝕多晶硅的三個步驟。