問(wèn)答題什么是光刻中常見(jiàn)的表面反射和駐波效應(yīng)？如何解決？
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給出投影掩模板的定義。投影掩模板和光掩模板的區(qū)別是什么？
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解釋什么是暗場(chǎng)掩模板？
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