多項選擇題

解決氧化層中的鈉離子沾污的方法有（）。

A.加強工藝操作
B.加強人體和環(huán)境衛(wèi)生
C.使用高純化學試劑、高純水和超凈設備
D.采用HCl氧化工藝
E.硅片清洗后，要充分烘干，表面無水跡

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