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單項(xiàng)選擇題

擴(kuò)散爐中的管道一般都是用（）制作。

A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金屬

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多項(xiàng)選擇題

下列可作為磷擴(kuò)散源的是（）。

A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源

多項(xiàng)選擇題

下列擴(kuò)散雜質(zhì)源中，（）不僅是硅常用的施主雜質(zhì)，也是鍺常用的施主雜質(zhì)。

A.硼
B.錫
C.銻
D.磷
E.砷