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一般用()測量注入的劑量。
A.劑量分布儀
B.劑量統(tǒng)計儀
C.電荷分析儀
D.電荷積分儀
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單項選擇題
在實際工作中,常常需要知道離子注入層內(nèi)損傷量按()的分布情況。
A.長度
B.深度
C.寬度
D.表面平整度
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單項選擇題
降低靶的溫度,有利于非晶層的形成,所以臨界注入量隨之()。
A.增大
B.減小
C.不變
D.變?yōu)?
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