單項(xiàng)選擇題

當(dāng)注入劑量增加到某個(gè)值時(shí)，損傷量不再增加，趨于飽和。飽和正是對(duì)應(yīng)連續(xù)（）的形成。

A.非晶層
B.單晶層
C.多晶層
D.超晶層

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單項(xiàng)選擇題

當(dāng)注入劑量增加到某個(gè)值時(shí)，損傷量不再增加，趨于飽和。開(kāi)始飽和的注入劑量稱為（）。

A.臨界劑量
B.飽和劑量
C.無(wú)損傷劑量
D.零點(diǎn)劑量

多項(xiàng)選擇題

對(duì)于非晶靶，離子注入的射程分布取決于（）。

A.入射離子的能量
B.入射離子的質(zhì)量
C.入射離子的原子序數(shù)
D.靶原子的質(zhì)量、原子序數(shù)、原子密度
E.注入離子的總劑量