A.熱退火 B.激光退火 C.電子束退火 D.離子束退火
A.能量淀積 B.動(dòng)量淀積 C.能量振蕩 D.動(dòng)量振蕩
A.低溫注入 B.常溫注入 C.高溫注入 D.分子注入 E.雙注入