單項(xiàng)選擇題

離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。

A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源

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單項(xiàng)選擇題

早期，研究離子注入技術(shù)是用（）來(lái)進(jìn)行的。

A.重離子加速器
B.熱擴(kuò)散爐
C.質(zhì)子分析儀
D.輕離子分析器

單項(xiàng)選擇題

（）的氣體源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等離子。

A.Cl₂
B.BCl₃
C.CO₂
D.H₂