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單項選擇題
離子源的作用是使所需要的雜質原子電離成()離子,并通過一個引出系統(tǒng)形成離子束。
A.正
B.負
C.中性
D.以上答案都可以
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單項選擇題
在各種離子源常用的放電方式中,EOS是指有()。
A.電子振蕩放電
B.離子自動放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電
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多項選擇題
離子注入的主要氣體源中,劇毒的有()。
A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷
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