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為了防止抽氣設(shè)備對離子注入系統(tǒng)的油污染,可在靶室前增加一個()或采用無油泵。
A.液氮冷阱
B.凈化阱
C.抽氣阱
D.無氣泵
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單項選擇題
離子源的基本結(jié)構(gòu)是由產(chǎn)生高密度等離子體的()和引出部分組成。
A.電極
B.分析器
C.加速器
D.腔體
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單項選擇題
在磁分析器中常用()分析磁鐵。
A.柱形
B.扇形
C.方形
D.圓形
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