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銅與氯形成的化合物揮發(fā)能力不好,因而銅的刻蝕無(wú)法以化學(xué)反應(yīng)來(lái)進(jìn)行,而必須施以()。
A.等離子體刻蝕
B.反應(yīng)離子刻蝕
C.濕法刻蝕
D.濺射刻蝕
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單項(xiàng)選擇題
濺鍍法,因?yàn)槠潆A梯覆蓋的能力不良,很容易造成因填縫不完全所留下的()。
A.鳥(niǎo)嘴
B.空洞
C.裂痕
D.位錯(cuò)
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單項(xiàng)選擇題
不可以對(duì)SiO
2
進(jìn)行干法刻蝕所使用的氣體是()。
A.CHF
3
B.C
2
F
6
C.C
3
F
8
D.HF
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