多項選擇題

薄膜沉積的機構(gòu)包括那些步驟（）。

A.形成晶核
B.晶粒成長
C.晶粒凝結(jié)
D.縫道填補
E.沉積膜成長

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多項選擇題

晶片表面上的粒子是通過（）到達晶片的表面。

A.粒子擴散
B.從氣體源通過強迫性的對流傳送
C.化學反應
D.被表面吸附
E.靜電吸引

單項選擇題

薄膜沉積的機構(gòu)，依發(fā)生的順序，可以分為這幾個步驟。其中不包括（）。

A.形成晶核
B.晶粒自旋
C.晶粒凝結(jié)
D.縫道填補