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單項(xiàng)選擇題
()是與氣體輝光放電現(xiàn)象密切想關(guān)的一種薄膜淀積技術(shù)。
A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積
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單項(xiàng)選擇題
用高能粒子從某種物質(zhì)的表面撞擊出原子的物理過(guò)程叫()。
A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積
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多項(xiàng)選擇題
真空鍍膜室是由()幾部分組成。
A.鐘罩
B.蒸氣源加熱器
C.襯底加熱器
D.活動(dòng)擋板
E.底盤
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