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多項選擇題
從電極的結(jié)構(gòu)看,濺射的方法包括()。
A.直流濺射
B.交流濺射
C.二級濺射
D.三級濺射
E.四級濺射
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多項選擇題
濺射的方法非常多其中包括()。
A.直流濺射
B.交流濺射
C.反應(yīng)濺射
D.二級濺射
E.三級濺射
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多項選擇題
一般來說,濺射鍍膜的過程包括()這幾步。
A.產(chǎn)生一個離子并導(dǎo)向靶
B.被轟擊的原子向硅晶片運動
C.離子把靶上的原子轟出來
D.經(jīng)過加速電場加速
E.原子在硅晶片表面凝結(jié)
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