單項選擇題

懸浮在空氣中的顆粒稱為（）。

A.懸浮物
B.塵埃
C.污染顆粒
D.浮質(zhì)

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單項選擇題

沾污引起的電學(xué)缺陷引起（），硅片上的管芯報廢以及很高的芯片制造成本。

A.不會影響成品率
B.晶圓缺陷
C.成品率損失
D.晶圓損失

多項選擇題

沾污是指半導(dǎo)體制造過程中引入半導(dǎo)體硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物質(zhì)。

A.功能
B.成品率
C.物理性能
D.電學(xué)性能
E.外觀