A.酸堿性氣體 B.有機(jī)性氣體 C.特殊毒性氣體 D.水蒸汽 E.中性氣體
A.一般排氣系統(tǒng) B.特殊排氣系統(tǒng) C.制程排氣系統(tǒng) D.專用排氣系統(tǒng) E.排氣排水系統(tǒng)
A.金屬電遷移 B.金屬尖刺現(xiàn)象 C.芯片產(chǎn)生超過1A的峰值電流 D.柵氧化層擊穿 E.吸引帶電顆?;驑O化并吸引中性顆粒到硅片表面