什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。

解釋什么是暗場掩模板？

刻蝕工藝有哪兩種類型？簡單描述各類刻蝕工藝。

哪種化學(xué)氣體經(jīng)常用來刻蝕多晶硅？描述刻蝕多晶硅的三個步驟。

例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個基本步驟。

解釋鋁已經(jīng)被選擇作為微芯片互連金屬的原因。

什么是摻雜？例舉四種常用的摻雜雜質(zhì)并說明它們是n型還是p型？

描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。