單項選擇題

（）可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

A.離子源
B.磁分析器
C.加速管
D.終端系統(tǒng)

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單項選擇題

利用高溫驅(qū)動雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

A.擴(kuò)散爐
B.離子注入機(jī)
C.加熱平板
D.對流烘箱

單項選擇題

電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是（）

A.電阻絲
B.電子束
C.電子槍
D.石墨