填空題

兩側(cè)頭及長光柵采用德國海登漢公司產(chǎn)品,測量精度高。長光柵進度為(),短光柵精度為()。

答案: 0.005mm;0.001mm
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答案: Ф100-Ф500mm、Ф500-Ф780mm
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