填空題

選擇性氧化常見(jiàn)的有（）和（），其英語(yǔ)縮略語(yǔ)分別為L(zhǎng)OCOS和（）。

答案：局部氧化；淺槽隔離；STI

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用于熱工藝的立式爐的主要控制系統(tǒng)分為五部分（）、（）、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)和（）。

答案：工藝腔；硅片傳輸系統(tǒng)；溫控系統(tǒng)

根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為（）、（）和（）。

答案：干氧氧化；濕氧氧化；水汽氧化