判斷題平滑是一種平坦化類型，它只能使臺(tái)階角度圓滑和側(cè)壁傾斜，但高度沒有顯著變化。
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為提高CMOS集成電路的抗自鎖能力，可在版圖設(shè)計(jì)上采取哪些措施？
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MOS器件按比例縮小后對(duì)器件特性有什么影響？
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