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離子注入是一個(gè)物理過(guò)程,不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
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離子注入是唯一能夠精確控制摻雜的手段。
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硼是VA族元素,其摻雜形成的半導(dǎo)體是P型半導(dǎo)體。
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