下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

步進(jìn)電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

定期應(yīng)該對變頻器進(jìn)行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

油擴散泵的優(yōu)點是什么（）？

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。