單項選擇題光刻加工的工藝過程為（）
A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原
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1.單項選擇題FMS非常適合（）
A.大批大量生產(chǎn)方式
B.品種單一、中等批量生產(chǎn)方式
C.多品種、中小批量生產(chǎn)
2.單項選擇題計算機集成制造技術(shù)強調(diào)（）
A.企業(yè)的經(jīng)營管理
B.企業(yè)的虛擬制造
C.企業(yè)的功能集成