對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在，一是競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，二是（），三是靈活性。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？