多項(xiàng)選擇題金屬化中可選用的金屬材料有()。
A.銀
B.金
C.鋁
D.銅
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1.單項(xiàng)選擇題進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是()。
A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金
2.單項(xiàng)選擇題化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)?()
A.還原劑
B.分散劑
C.腐蝕介質(zhì)
D.磨料
3.多項(xiàng)選擇題CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。
A.臺(tái)板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設(shè)備
4.多項(xiàng)選擇題新的平坦化方法有哪幾個(gè)?()
A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)
B.無(wú)磨粒CMP技術(shù)
C.無(wú)應(yīng)力拋光技術(shù)
D.電化學(xué)機(jī)械平坦化技術(shù)
5.多項(xiàng)選擇題光刻工藝對(duì)準(zhǔn)誤差包括()。
A.上下偏移
B.X或Y方向的平移
C.轉(zhuǎn)動(dòng)
D.套準(zhǔn)誤差
最新試題
下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子?()
題型:多項(xiàng)選擇題
下面哪道工序主要是針對(duì)晶圓切割之后在顯微鏡下進(jìn)行晶圓r的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品?()
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
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碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管是未來(lái)晶體管發(fā)展趨勢(shì)之一。
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金屬化中可選用的金屬材料有()。
題型:多項(xiàng)選擇題
新的平坦化方法有哪幾個(gè)?()
題型:多項(xiàng)選擇題
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題型:多項(xiàng)選擇題
化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)?()
題型:?jiǎn)雾?xiàng)選擇題