單項(xiàng)選擇題提高刻蝕機(jī)的刻蝕選擇性可以通過()。

A.優(yōu)化刻蝕氣體成分
B.調(diào)整刻蝕溫度
C.改進(jìn)掩膜結(jié)構(gòu)
D.以上都是


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1.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)成本主要包括()。

A.零部件更換
B.能源消耗
C.人工費(fèi)用
D.以上都是

2.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的性能評估指標(biāo)不包括()。

A.設(shè)備價格
B.刻蝕質(zhì)量
C.生產(chǎn)效率
D.穩(wěn)定性

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的安裝環(huán)境要求()。

A.防震
B.防潮
C.通風(fēng)
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的自動化程度越高,對操作人員的要求()。

A.越高
B.越低
C.不變
D.不確定

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的尾氣處理系統(tǒng)主要作用是()。

A.降低噪音
B.回收有用氣體
C.減少環(huán)境污染
D.提高刻蝕效率